zdf-5227系列复合真空计由电阻单元和热阴极电离单元组成,可测范围从高真空至大气压。可接一到三路电阻规和一路电离规。电阻单元采用定温测量法,精度高、响应快。采用全数字化校准方法,无需工具即可完成电阻规的校准。在自动模式,电离单元可通过电阻单元自动控制开启和关闭…